| ÇÁ·Ñ¸®½º Prolith´Â °í±Þ ¸ðµ¨À» »ç¿ëÇÏ¿© ½Å¼ÓÇÏ°í Á¤È®ÇÏ°Ô ½Ã¹Ä·¹À̼ÇÇÕ´Ï´Ù. |
Áö±Ý ´Ù¿î·Îµå |
ÇÁ·Ñ¸®½º ¼øÀ§ ¹× ¿ä¾à
- °Ô½ÃÀÚ À̸§:
- KLA-Tencor Corporation.
- Ãâ½ÃÀÏ:
- 2021-04-19 22:58:12
ÇÁ·Ñ¸®½º ű×
ÇÁ·Ñ¸®½º ¼³¸í
¿¹Àü ´ÙÀ½ ProLITH LITHROgraphy ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç µµ±¸´Â °í±Þ ¸ðµ¨À» »ç¿ëÇÏ¿© 2xnm ¹× ¾Æ·¡ µðÀÚÀÎ ³ëµå¿¡¼ ÆÐÅÏÀ» ºü¸£°í Á¤È®ÇÏ°Ô ½Ã¹Ä·¹ÀÌÆ®ÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ °è»ê ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ µµ±¸´Â °í±Þ IC Á¦Á¶¾÷ü, ½ºÅ×ÆÛ È¸»ç, Æ®·¢ ȸ»ç, ¸¶½ºÅ© Á¦Á¶¾÷ü, Àç·á Á¦°øÀÚ ¹× ¿¬±¸ ÄÁ¼Ò½Ã¾ö¿¡¼ EUV, ÀÌÁß ÆÐÅÍ´× ¹× ±âŸ °í±Þ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼úÀ» ºñ¿ë È¿À²ÀûÀ¸·Î Æò°¡ÇÕ´Ï´Ù.
ÇÁ·Ñ¸®½º °ü·Ã ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î